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12月14日，微导纳米开启申购。公司申购代码为787147，拟公开发行股票4544.55万股，其中网上发行772.55万股，发行价格为24.21元，单一账户申购上限为0.75万股，申购数量为500股的整数倍，顶格申购需持有沪市市值7.50万元。

资料显示，微导纳米以原子层沉积(ALD)技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。

自成立以来，微导纳米通过不断吸纳国内外优秀人才和研发投入，已在微、纳米级薄膜沉积核心技术领域具有丰富的技术积累。公司将基础研发与行业应用紧密结合，以下游客户的实际需求为导向，产品率先用于光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节，已覆盖包括通威太阳能、隆基股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。2018年，公司的光伏领域夸父(KF)原子层沉积设备被评定为“江苏省首台(套)重大装备产品”。目前，公司应用于TOPCon、XBC新型高效电池生产线的产品已在客户应用。

在成功将ALD技术应用于光伏领域后，微导纳米还开发了对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备，并实现了国产ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺(高介电常数栅氧层材料沉积环节)中的突破。

在此基础上，公司继续深化开发薄膜沉积技术在下一代光伏电池、半导体各细分应用(集成电路、先进存储等)、柔性电子等应用领域的技术和产品储备，并已在下游行业多家知名公司进行产品验证。

微导纳米技术升级也在研发费用中得以体现，自设立以来，微导纳米将大量的精力和资源投入到新产品、新工艺的研发中，研发人员数量和研发支出大幅增加。2019年至2022年6月末，微导纳米研发费用占营业收入比重分别为14.41%、17.19%、22.68%、39.74%。在研发团队方面，截至2022年6月30日，公司拥有研发人员206人，占公司总人数的25.50%。

值得一提的是，本次微导纳米的募集资金将用于基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目、基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目、集成电路高端装备产业化应用中心项目以及补充流动资金。上述募投项目对公司现有主要产品及核心技术的开发、升级及创新。募投项目完成后，将进一步提升公司的研发实力和生产能力，巩固并提高公司的市场份额。

提及未来的发展计划，微导纳米表示，公司将通过为客户提供一流技术、一流品质和一流服务，不断提升产品的竞争力，不断打造高端装备制造商的优质品牌，实现高端技术装备的国产化、产业化；通过打造薄膜沉积技术产业化研发中心，针对市场发展和需求开发专用于产业化的薄膜沉积解决方案和产品，引领创新性应用，不断向产品横向以及纵深发展；择机通过收购等方式，对核心技术上下游关键工艺进行技术整合，针对新兴产业形成一整套技术解决方案，力争成为以ALD技术为核心的全球微纳制造装备领导者。

（文章来源：证券日报）